事件概述
公司发布2023 年报和2024 年一季报。
Q1 设备发货同比大幅增长，看好后续收入端表现加速向上2023 年公司实现营业收入27.05 亿元，同比+59%，公司营收端实现快速增长，主要系公司在新工艺应用及新产品开发方面取得显著成效，PECVD、ALD、SACVD 设备持续拓展工艺，量产规模不断扩大，加速确认收入。分产品来看：1）薄膜沉积设备：实现收入25.7 亿元，同比+53%，其中PECVD 实现收入23.2 亿元，同比+48%，混合键合设备实现收入0.64 亿元，实现产业化应用。
2024Q1 公司实现营收4.72 亿元，同比+17%，主要系Q1 验收机台主要为新产品，验收周期较长。从发货节奏来看，2024Q1 公司设备出货金额同比增长超过 130%，表现十分亮眼。截至2023年末，公司在手订单金额超过64 亿元（不含Demo 订单），同比+40%。截至2024Q1 末，公司合同负债和存货分别为13.86 和56.13 亿元，分别环比持平、+23%，我们判断2024Q1 签单情况依旧良好，公司在手订单充足，将支撑2024 年大规模出货。公司预计 2024 年全年出货超过1,000 个反应腔，同比增速超过+117%。随着订单陆续确认收入，后续收入端表现有望加速向上。
高研发费用压制盈利水平，Q1 利润端表现短期承压2023 年公司归母净利润和扣非归母净利润分别为6.63 和3.12 亿元，分别同比+80%和+75%，2023 年销售净利率和扣非销售净利率分别为24.54%、11.54%，分别同比+2.93、+1.14pct。（1）毛利端：2023 年公司销售毛利率为51.01%，同比+1.74pct ，其中薄膜沉积设备毛利率为50.76%，同比+1.55pct，混合键合设备毛利率达到50.86%，表现优异。（2）费用端：2023 年公司期间费用率38.24%，同比+1.08pct，其中销售、管理、研发和财务费用率分别同比-0.87、+2.23、-0.91 和+0.63pct，主要系股份支付费用较多，2023 年达到2.24 亿元。此外，2023 年公司计入当期损益的政府补助达到3.29 亿元，明显增厚公司净利润表现。
2024Q1 公司归母净利润和扣非归母净利润分别为1047 和-4421 万元，分别同比-80.51%和-325.07%，低于市场预期，主要系公司加大拓展新产品和新工艺的力度，费用端高速增长。以研发费用为例，2024Q1 研发费用达到 1.53 亿元，同比增长78.09%。2024Q1 公司期间费用率达到54.51%，同比+14.25pct，其中研发费用率达到32.47%，同比+11.09pct。在毛利端，2024Q1 公司销售毛利率为47.31%，同比-2.47pct，依然表现出色，我们推测主要系产品结构变化。此外，2024Q1 公司其他收益达到5865 万元，同比+52.77%，主要来源于政府补助，增厚利润空间。
持续完善薄膜沉积设备工艺覆盖度，充分受益半导体设备进口替代作为薄膜沉积设备细分赛道龙头，公司持续扩大以 PECVD、ALD、SACVD 及 HDPCVD 为主的薄膜工艺覆盖面。截至2023 年末，公司推出的 PECVD、ALD、SACVD 及 HDPCVD 等薄膜设备可以支撑逻辑芯片、存储芯片中所需的全部介质薄膜材料和约 100 多种工艺应用。在新品研发方面，2023 年公司推出两款新型设备平台（PF-300T Plus 和 PF-300M）和两款新型反应腔（pX 和Supra-D），超过 130 个新型反应腔（pX 和 Supra-D）获得客户订单，超过40 个新型反应腔（pX 和 Supra-D）出货至客户端验证，持续提升产品竞争优势。
此外，2.5D、3D 等先进封装工艺渗透率提升，晶圆键合设备需求快速放量，公司前瞻性布局混合键合领域，产业化快速推进。1）W2W：公司首台晶圆对晶圆键合产品 Dione 300 顺利通过客户验证，并获得复购订单，复购的设备再次通过验证，实现产业化应用，成为国产首台应用于量产的混合键合设备；2）D2W：公司推出的芯片对晶圆混合键合前表面预处理产品 Propus 发货至客户端验证，并在当年即通过客户端验证，成为国产首台应用于量产的同类型产品。
投资建议
考虑到公司设备交付节奏和研发投入力度，我们调整2024-2025 年营业收入预测分别为41.25、56.36 亿元（原值40.40、55.45 亿元），并预计2026 年营业收入为73.70 亿元；调整2024-2025年归母净利润分别为8.19 和11.39 亿元（原值8.97 和12.07 亿元），并预计2026 年归母净利润为15.74 亿元；调整2024-2025 年EPS 分别为4.35、6.05 元（原值4.77 和6.41 元），并预计2026 年EPS 为8.36 元，2024/4/30 日股价181.67 元对应PE 分别为42、30 和22 倍。基于公司较强的市场竞争力，维持“增持”评级。
风险提示
半导体行业景气下滑、竞争格局恶化、新品拓展不及预期等。