事件：公司发布2026 一季报，公司26Q1 营收11.12 亿元，同比+57.0%/环比-51.6%，毛利率41.69%，同比+21.8pcts/环比+3.7pcts，归母净利润5.71 亿元，同比+7.18 亿元/环比+54.1%。公司PECVD、ALD 加速放量，混合键合逐渐起量，在手订单充足，未来有望加速增长。维持“增持”投资评级。

    　　26Q1 单季毛利率改善。公司26Q1 营收11.12 亿元，同比+57.0%/环比-51.6%，毛利率41.69%，同比+21.8pcts/环比+3.7pcts，归母净利润5.71 亿元，同比+7.18 亿元/环比+54.1%，扣非净利润1.02 亿元，同比+2.82 亿元/环比-61.5%。

    　　2025 全年营收同比增长强劲，规模效应显现优化利润表现。25 全年实现营收65.2 亿元，同比+58.9%，主要系应用于先进制程领域的新产品、新工艺实现规模化量产，产品销售取得放量突破，毛利率35.0%，同比-6.7pcts，归母净利润9.3 亿元，同比+34.7%，主要系公司持续加强成本管控，期间费用率继续下降，规模效应进一步释放利润空间，非经常性损益同比减少，主要系公司对外投资产生的交易性金融资产的公允价值变动损益同比减少约1.33 亿元，扣非净利润7.23 亿元，同比+103.1%。

    　　核心产品PECVD 与ALD 设备表现亮眼，混合键合等新设备实现量产突破。

    　　半导体专用设备营收63.0 亿元，同比+59.0%，毛利率34.0%，同比-6.9pcts，整体销量同比+33.0%。1）PECVD：实现营收约51.42 亿元，同比+75.3%，持续获得客户复购和批量订单，不断扩大量产规模。面向先进存储领域自主研发的PECVD Supra-DOPN、SiB、高温SiN 等工艺设备且均通过客户验证；晶圆背面薄膜沉积设备、高产能PECVD 设备等均实现产业化放量。2）SACVD和HDPCVD：产品不断扩大量产规模，首台SACVD 等离子体增强SAF 薄膜工艺设备通过客户验证。3）ALD：实现销售收入约3.01 亿元，同比大幅增长191.8%。PE-ALD 多款SiO2、SiN、SiCO 工艺设备客户端放量，Thermal-ALD 在持续拓展新工艺，并陆续获得订单、出货，其中首台TiN 工艺产品已通过客户验证。4）混合键合：实现营业收入1.36 亿元，同比增长41.9%。新一代高速高精度晶圆对晶圆混合键合产品、首台晶圆对晶圆熔融键合设备通过客户验证。

    　　公司在手订单充足，业绩有望持续增长。截至2025 年底，公司在手订单达110 亿元；合同负债达48.52 亿元，同比+62.7%，主要系预收货款大幅增加。

    　　下游需求旺盛，随着新产品规模效应显现，未来业绩有望保持高速增长。

    　　投资建议。公司系国内薄膜沉积设备龙头，PECVD 不断扩大量产规模，ALD品类持续拓展并加速放量，混合键合顺利通过客户验证并逐渐起量。我们预计26-28 年营收88.77/118.65/153.56 亿元，归母净利润17.06/23.09/30.77亿元，对应PE 为73.7/54.5/40.9 倍，维持“增持”投资评级。

    　　风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期，晶圆厂产能利用率下滑的风险，新品研发不及预期，行业竞争加剧的风险。