事件：公司发布2023年一季报、股权激励计划草案。

    收入端实现高速增长，合同负债环比进一步提升2023Q1 公司实现营业收入6.16 亿元，同比+74.09%，延续高速增长态势，主要系公司在手订单充足，订单加速交付确认，同时2022Q1 受上海疫情影响收入基数较小。分产品来看，半导体清洗设备延续快速增长态势，电镀、立式炉管、无应力抛铜等新品市场开发取得显著成效、新产品得到客户认可，销量持续快速增长。截至2022Q3 末，公司在手订单46.44 亿元，同比+105%。截至2023Q1 末，公司合同负债9.44 亿元，环比+14.84%，创历史新高，进一步验证公司在手订单持续增长。根据公司此前披露的2023 年度经营业绩预测，2023 年公司营业收入为36.5 至42.5 亿元，同比+27%-48%，延续高速增长。

    毛利率大幅提升叠加费用率下降，2023Q1 盈利水平同比大幅改善2023Q1 公司实现归母净利润1.31 亿元，同比+2937.19%，实现扣非归母净利润1.09 亿元，同比+360.26%，归母净利率和扣非后归母净利率分别为21.26%和17.64%，分别同比+20.04pct 和+10.97pct，盈利能力大幅改善。

    1）毛利端，2023Q1 公司整体毛利率为54.61%，同比+7.45pct，我们推测主要受益于产品结构优化和规模化降本效应。2）费用端，2023Q1 公司期间费用率33.51%，同比-6.48pct，其中研发费用率同比-6.89pct， 2022 年末研发人员达519 人，同比+32.74%，小于营收增速，规模效应显现。此外，2023Q1 公司加大新品研发力度，相关研发物料投入明显增加。3）2023Q1 公司因持有交易性金融资产股价变动导致的公允价值变动损益为1981 万元，而2022Q1 公允价值变动为-2450 万元，公允价值变动损益大幅增长，一定程度增厚了2023Q1 净利润。

    2023 股权激励草案落地，利好公司长远发展公司发布股权激励草案，拟向激励对象共计515 人授予1331 万股限制性股票，约占本激励计划草案公告时公司股本的3.07%。1）本激励计划涉及的激励对象占公司全部职工人数的42.95%，激励覆盖范围较广；2）本激励计划授予的限制性股票考核年度为2023-2026 四个会计年度，每个会计年度考核一次。根据各考核年度所使用的营业收入增长率累计值（A）、各考核年度的专利申请数（B）进行考核，确定各年度的业绩考核目标对应的公司层面归属比例，同时设定个人层面绩效考核要求，考核指标设定具有良好的科学性和合理性。3）2023-2027 年股权激励成本摊销为2.01/2.51/1.35/0.67/0.18 亿元，整体费用相对可控。

    海外市场快速拓展，PECVD、涂胶显影设备打开成长空间公司在稳固清洗设备国内龙头地位的同时，海外市场扩张快速推进。

    1）清洗设备：2021 年10 月获全球主要半导体制造商的Ultra C SAPS 前道清洗设备DEMO 订单，2021 年12 月获美国一家主要国际半导体制造商的两份Ultra C SAPS V 的12 腔单片清洗设备订单，2023 年2 月再获欧洲一家全球半导体制造商的单片SAPS 兆声波清洗设备订单。2）ECP 电镀设备：2021 年10 月获亚洲某主要半导体制造商DEMO 订单。

    此外，2022 年11-12 月公司先后推出涂胶显影、PECVD 设备，完善产业布局，使产品覆盖市场规模翻倍以上增长。1）PECVD 设备：我们预计2023 年全球和中国大陆半导体PECVD 设备市场规模分别为86 和30 亿美元。2022 年12 月公司正式推出拥有自主知识产权Ultra Pmax PECVD 设备，打开成长空间。2）涂胶显影设备：据Gartner 数据，2022 年全球涂胶显影设备市场规模将达37 亿美元。2022 年12 月公司正式推出12 英寸涂胶显影设备，其中首台ArF 涂胶显影设备Ultra LITH 已经正式出机，同时将于2023 年推出I-line 型号设备，并且开始着手研发KrF 型号设备。

    盈利预测与投资评级：考虑到公司在手订单充足，我们维持2023-2025年公司归母净利润预测为9.25、12.11 和15.51 亿元，当前市值对应动态PE 分别为52、40、31 倍，维持“增持”评级。

    风险提示：下游资本开支不及预期、新品拓展不及预期等。