结论与建议：

    公司目前国内唯一一家为集成电路制造商提供12 英寸CMP（抛光）商业机型的高端半导体设备制造商，自2019 年以来，公司在国内代工企业CMP 设备中标占比持续提升，反应公司技术实力提升并得到客户认可。

    展望未来，大陆半导体产能持续增长，公司作为CMP（抛光）国内龙头将受益于下游市场的增长以及国产替代的推进。预计公司2022、2023 年净利润3.8 亿元和6.1 亿元，同比增长93%和59%，EPS 分别为3.57 元和5.68 元。

    公司股价对应2023 年PE 为42 倍，PS 为10 倍，给与买进评级。

    中国半导体设备需求高速增长：2021 年全球晶圆制造设备支出同比增速达到创纪录的44%。预计2022 年设备需求仍将保持两位数的较快增长并创新高达到980 亿美元。中国大陆包括长江存储、中芯国际在内的晶圆厂商整体2022 年产能将继续快速增长，预计未来4 年12 寸装机产能增速达27%，将持续提升本土设备需求。

    国内领先CMP（抛光）设备企业，研发制造能力突出，持续受益国产替代：公司研发团队包含了原清华大学摩擦学国家重点实验室CMP 核心成员，完全自主知识产权的CMP 设备已实现在国内外知名客户先进大生产线的产业化应用。公司在长江存储等本土晶圆厂2019 年至2021 年间CMP设备采购占比分别达到21%、40%和44%，引领国产设备替代海外竞品。

    收入增速高，盈利能力持续提升：截止2021 年末，公司已发出未验收结算的CMP 设备69 台，未发出产品的在手订单超过70 台（2021 年确认销售36 台），公司未来业绩大幅成长确定性高，同时随着产值规模的提升，公司盈利能力亦将持续提升。1H22，公司预计营收同比增长87%-138%，扣非后净利润同比增长189%-247%，公司业绩保持高速增长的态势。

    盈利预测：预计公司2022、2023 年净利润3.8 亿元和6.1 亿元，同比增长93%和59%，EPS 分别为3.57 元和5.68 元，目前股价对应2023 年PE42倍、PS10 倍，考虑到公司业绩潜力较大，给与买进建议。

    风险提示：新冠疫情影响半导体设备需求