本报告导读：

    　　公司是国内纯IC 设备、12 寸CMP 国产唯一厂商，业绩已进入快速爆发期，后市场维保为公司带来稳定收入增长。

    　　投资要点：

    　　首次覆盖，给予“ 增持”评级。公司充分受益近年国产进口替代大潮，业绩将快速提升，预计2022-24 年EPS 分别为3.83、6.42、9.39 元，对应增速106%、68%、46%。结合PE、FCFF 估值法，得到市值453.35 亿元，对应2022 年PE 为110 倍，对应目标价425.01 元，给予增持评级。

    　　国产12 寸CMP 设备先锋，业绩进入快速爆发期。公司是12 寸唯一国产CMP 供应商，2021 年占四大厂主要产线12 寸CMP 招标份额超40%，随着金属CMP 设备取得突破，占国产产线份额有望持续突破。2020 年底公司启用新厂房，产能得以释放，产能空间达到40 亿以上，且随着交付-验收周期大幅缩短，公司CMP 设备业务将进入持续爆发期。

    　　发力14nm 及以下高端制程，持续创新突破。目前公司CMP 设备主要在28nm 批量应用，14nm 节点正在验证，公司将依托国家重大专项，持续进行14-7nm 段研发，在当前全球半导体行业“去全球化”的背景下，公司的CMP 将对大陆晶圆制造能力提供有力支撑。此外，CMP 设备在各段节点间通用性较强，公司有望在国产产线以外客户取得突破。

    　　立足CMP 装备，转向后市场维保及晶圆再生业务。从应材业务结构看，设备维保占比接近3 成，且后市场客户粘性更强、盈利能力更优。每台CMP 设备每年维保价值量200 万左右，随着公司CMP 累计出货量增加，维保业务将持续增长。此外，立足CMP 设备，拓展大陆晶圆再生市场，募投项目将建立10 万片/月晶圆再生产线，持续寻找新的业务增长点。

    　　风险提示：疫情影响生产研发交付进度、新工艺进度不及预期等