维持增持评级。公司2022 年实现营收16.49 亿元/+104.86%，归母净利5.02 亿元/+152.98%；扣非归母净利3.8 亿元/+233.36%；其中，Q4 实现营收5.15 亿元/同比+97.46%，归母净利1.59 亿元/同比+216.78%；扣非归母净利1.14 亿元。23Q1 实现营收6.16 亿/+76.9%，归母净利1.94 亿/+112.5%，扣非归母净利1.67 亿/+114.5%。考虑到订单饱满，上调23 年EPS，23-24年EPS 为7.09/9.84 元（原6.87/9.84 元），新增25 年EPS 为12.45 元，参照可比公司给予24 年48 倍PE，上调目标价至472 元。

    　　降本发力，盈利水平改善。公司22 年实现销售毛利率47.7%/+3.0pct，销售净利率30.4%/+5.8pct，得益于：1）零部件国产化+产业链协同，22 年参与富创精密（半导体前道设备零部件供应商）IPO 战略配售，参股浙江鑫钰新材料（主营半导体离子注入机）。2）内部经营体系持续优化，费控水平提高，22 年销售费用率6.1%/-2.2pct，管理费用6.1%/-2.3pct。

    　　半导体设备产品矩阵持续扩充，国产替代加速。1）CMP 设备已突破更先进技术节点（取得批量订单）；2）减薄设备实现0 到1 突破（取得销售订单）；3）膜厚设备已小批量出货；4）供液系统已获得批量采购。

    　　耗材与维保服务持续发力，形成新增长极。1）维保服务：参照国际巨头AMAT 和Lam，两家服务业务22 财年占比分别为22%和34%，公司22年维保业务占比不到15%，提升空间广阔。2）晶圆再生业务：已实现双线运行（多家客户批量订单），22 年末产能达8 万片/月。

    　　风险提示：下游资本开支下降、美国出口管制加剧、新产品研发不及预期