微导纳米：立足于2A LD 技术，产业化进展迅速微导纳米2015 年12 月25 日成立，立足于ALD 技术在光伏、半导体等领域的应用。在半导体领域，微导纳米在28nm 逻辑芯片的高k 栅介质层HfO2 工艺已实现产业化应用，在存储芯片、第三代化合物半导体和半导体量子器件领域公司设备正积极推进产业化验证。在光伏领域，公司已开发出多款真空设备，包括ALD、PECVD、PEALD+PECVD 二合一设备、扩散炉等，以真空设备为主，并提供配套产品及服务。

    ALD 设备成长空间广阔，微导纳米为国产替代先行者相较PVD、CVD 镀膜技术，ALD 技术的优势是可在复杂形貌上沉积高质量薄膜，薄膜厚度原子层级别精度可控，是集成电路制造中的重要应用，尤其在28nm 以下先进制程的FinFET 制造工艺中，ALD 技术用量及重要性快速提升，在薄膜沉积设备中，ALD 设备占比呈提升趋势。

    当前，半导体领域ALD 设备制造商以国外企业为主，TEL、ASMI 的全球市场占有率分别为31%和29%。ALD 设备国产化率几乎为零，目前国产设备在ALD 领域多为验证性订单，或刚取得量产验证通过。美国限制政策下，下游采用国产设备的意愿增强，中国本土半导体设备厂商设备验证进度有望加快，国产ALD 设备成长空间广阔。微导纳米技术优势突出，核心团队有多年ALD 技术、半导体制造工艺、半导体薄膜工艺、太阳能电池经验，且公司重视基础研发与行业应用的紧密结合。目前在半导体ALD 设备领域，公司产品总体性能和关键性能参数已达到国际同类设备水平，有望率先受益。

    光伏电池片新技术扩产加速，微导纳米积极拓宽光伏产品电池片产能利用率提高，盈利改善，且TOPCon 技术优势凸显，电池片厂扩产加快。2020 年电池片企业大规模扩产并在2021 年释放产能，但2021 年硅料价格上涨下游需求不旺，导致电池片企业亏损，同时叠加电池片技术路线迭代的不确定性，使得2021 年电池片厂扩产相对较少；2022 年大尺寸电池片产能紧张，盈利改善。供需优化+大尺寸化，电池片盈利提升。在电池盈利改善、组件盈利有望底部反转，且2022 年TOPCon 电池的效率与成本优势开始显现的背景下，各大厂商对于技术路线选择问题的担忧有所降低，积极加快电池与组件产能布局。

    微导纳米的ALD 设备继续保持市占率领先，且积极拓展PECVD、扩散炉等其他真空设备，成为光伏薄膜沉积市场的主要供应商之一。

    在手订单充足，募投项目推动ALD 技术产业化应用公司在手订单充足，截至2022 年9 月末，公司在手订单达19.75 亿元，且主要为毛利率较高的ALD 设备订单。随着在手订单的交付并取得客户验收，公司的盈利能力有望回升。为保证订单交付，公司积极扩产，招募员工，产能快速增长。此外，公司募投项目聚焦原子层沉积设备的扩产与产业化应用，有望进一步拓宽ALD 设备的应用领域，为公司营收业绩带来增长。

    给予“买入”评级。我们预计公司2022-2024 年归母净利润分别为0.58、1.62、3.06 亿元，对应PE 分别为248、89、47 倍，首次覆盖，给予“买入”评级。

    风险提示

    1、技术迭代及新产品开发不及预期；

    2、新产品验证进度及市场发展不及预期。