本报告导读：

    股权激励落地，组织活力有望充分激发；产品布局持续完善，关键产品稳步推进。

    投资要点：

    投资建议：维持公 司23-25 年营收为8.91/13.06/18.06 亿元不变，维持23-25 年EPS 为0.45/0.68/1.02 元不变。维持公司目标价114.3 元不变，维持增持评级。

    事件：公司发布股权激励公告，拟向113 名公司员工按30.69 元/股合计授予800 万股限制性股票（占总股本的2.5%）。以2022 年营收为基数，考核2024-2027 年营收增速，目标增速为125%/237%/373%/514%，对应公司24-27 年目标营收分别为11.46/17.16/24.09/31.27 亿元，yoy 分别为28.61%/49.78%/40.36%/29.81%。

    股权激励落地，组织活力有望充分激发。根据公告，公司激励人员包括董事、高管、核心技术人员与技术（业务）骨干在内的113 人，约占公司23年底员工总数的12.91%。此次股权激励，覆盖人数广。量检测设备国产化率低，公司作为国产龙头，股权激励落地有望绑定核心骨干利益，加速公司关键产品研发、生产与销售，巩固公司的竞争优势。此外，公司亦设定了较高的营收增速目标，2023-2027 年营收复合增速为36.87%。

    产品布局持续完善，关键产品稳步推进。量检测设备光学赛道10 主要产品中，公司已布局8 款产品，可服务市场空间已达62.6%，产品布局向海外巨头KLA 靠齐。主力产品无图形晶圆缺陷检测设备1Xnm 迭代及2Xnm节点明、暗场设备研发均稳步推进。套刻精度量测设备与金属膜厚量测设备有望稳步放量。

    风险提示：半导体行业周期波动、国产替代及公司产品研发不及预期。