本报告导读：

    业绩符合预期，盈利能力显著改善；国产替代加速，利基产品稳步放量；新品布局稳步推进，打开成长天花板。

    投资要点：

    投资建议：考虑到 公司产品日趋丰富且快速放量，上调24-25 年营收为13.51/19.11 亿元（前值13.06/18.06 亿元），新增26 年营收为25.96 亿元。

    公司规模效应持续凸显，上调24-25 年EPS 为0.81/1.24 元（前值0.68/1.02元），新增26 年EPS 为1.78 元。参考可比公司PS 及考虑到公司所处量检测环节国产化率低以及未来收入增速更快，给予公司24 年20 倍PS，下调目标价为84.44 元（前值114.3 元），维持增持评级。

    业绩符合预期，盈利能力显著改善。23 年营收8.91 亿元/+74.95%，归母净利1.4 亿元/+1072%。单Q4 营收3.03 亿元/+20.6%；归母净利0.61 亿元/+78.4%。23 年毛利率52.62%/+3.95pct，净利率15.75%/+13.44pct。24Q1营收2.36 亿元/+45.6%，归母净利0.34 亿元/+9.2%。

    国产替代加速，利基产品稳步放量。截至23 年底，公司无图形/图形晶圆缺陷检测设备分别累计交付近300 台和超200 台，同时稳步推进产品制程迭代。截至23 年底，公司累计交付150 台三维形貌量测设备。同时膜厚设备市占率持续提升。上述数款设备均已广泛应用于逻辑、存储和先进封装等领域，在国产替代加速背景下，快速放量。

    新品布局稳步推进，打开成长天花板。套刻精度量测设备自23 年推出后，订单快速增长，同时下一代产品研发进展顺利。明场设备取得显著进展，已小批量出货至头部客户产线验证。暗场设备和光学关键尺寸设备已完成样机研发，未来有望出货客户端验证。

    风险提示：半导体行业周期波动、国产替代及公司产品研发不及预期。