投资要点：

    事件：公司发布2023 年年报和2024 年一季报，符合预期。公司2023 年营收8.91 亿元，同比增长75.0%，扣非归母净利润3169 万（2022 年-8785 万），归母净利润1.40 亿元，同比增长1072%；2024 年一季度公司实现营收2.36 亿元，同比增长45.6%，扣非归母净利润778 万（去年同期-79 万），归母净利润3424 万，同比增长9.2%。

    公司主要产品型号订单量稳步增长，1Q24 合同负债回升。截至2023 年末，公司累计生产交付近300 台无图形晶圆缺陷检测设备、超过200 台图形晶圆缺陷检测设备、近150台三维形貌量测设备，覆盖超过100 家客户产线，同时公司套刻精度量测设备已实现批量销售。截至2024 年3 月末，公司合同负债4.78 亿，较年初增加0.38 亿，预计公司2024年一季度新签订单持续增长。

    明场、暗场纳米级检测设备研发进展顺利，推进客户产线验证。公司自主研发的纳米量级明场图形晶圆缺陷检测设备目前已完成适用于逻辑芯片、存储芯片等应用领域的设备样机研发，已经小批量出货到多家国内头部客户产线上进行工艺开发与应用验证工作，目前进展顺利；纳米量级暗场图形晶圆缺陷检测设备采用深紫外激光暗场扫描与成像探测技术，目前也已经完成设备样机研发，正积极开展国内多家主流客户的多种复杂图形工艺样片包括逻辑、存储、功率、2.5D HBM等芯片的验证测试。

    检测量测设备国产化率极低，国产替代存在巨大空间。根据公司年报，2022 年中国大陆半导体检测量测设备市场规模40.2 亿美元（约合人民币291 亿元），同比增长36%，且预计2023 年进一步增长；公司2023 年营收8.9 亿占2022 年检测量测设备市场规模约3.0%，推算2023 年公司营收市占率低于3%，反映国内检测量测设备国产化率整体极低，未来市占率快速提升趋势有望持续。

    投资分析意见：上调盈利预测，维持“增持”评级。预计产业链自主可控大趋势下中科飞测将维持市占率快速提升趋势，同时技术研发不断突破带来产品品类持续增加，预计公司业绩高速增长有望持续，上调公司2024~2025 年业绩预测、并新增26 年业绩预测。预计公司2024~2026 年营业收入分别为13.8、18.8、23.9 亿元（原预测2024~2025 年11.9、16.8 亿元），同比增速分别为54.78%、36.2%、27.4%，预计公司2024~2026年归母净利润分别为1.95、2.74、3.48 亿元（原预测2024~2025 年1.44、1.97 亿元）。

    风险提示：需求低于预期影响晶圆厂扩产节奏；设备验证结果不达预期；原材料采购周期延长风险。