中科飞测发布年报，2025 年实现营收20.53 亿元（yoy+48.75%），归母净利5865.26 万元，扭亏为盈。其中Q4 实现营收8.52 亿元（yoy+49.94%，qoq+70.47%），归母净利7335.10 万元。公司为先进逻辑、先进存储以及HBM 2.5D/3D 封装等前沿领域客户提供覆盖“光学+电子束+X 光”三大核心技术路线的一站式良率管理解决方案，同时拥有良率管理、缺陷自动分类、光刻套刻分析三大软件产品形成完整的质量控制设备和智能软件相结合的良率管理闭环。展望2026 年，我们有望看到国内先进制程及存储积极扩产，中科飞测作为量检测赛道核心供应商有望持续受益，维持“买入”评级。

    　　25 全年回顾：营收高增，毛利率稳步向好，利润扭亏为盈25 年公司营收20.53 亿元（ yoy+48.75%） ， 综合毛利率49.93%（yoy+1.03pct）。暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、第四代无图形晶圆缺陷检测设备、第三代套刻精度量测设备等升级迭代贡献增长。检测设备营收13.64 亿元（yoy+38.52%），占比66.43%，毛利率53.29%（yoy+0.77pct）；量测设备营收6.23 亿元（yoy+72.71%），占比30.36%，毛利率41.91%（yoy+4.38pct）；软件营收0.13 亿元，占比0.61%，毛利率54.59%。25年公司研发费用率31.95%（yoy-4.12pct），归母净利润0.59 亿元，实现扭亏为盈。期末合同负债5.65 亿元，存货26.99 亿元，订单持续增长。

    　　覆盖“光学+电子束+X 光”三大技术路线，软件应用进展顺利公司十三大系列设备涵盖光学、电子束以及X 光等多种类设备，光学类八大系列设备已经批量量产，产品市占率稳步快速增长；明场纳米图形晶圆缺陷检测设备已批量出货至多家头部客户开展产线工艺验证和应用开发，晶圆平整度量测设备已出货头部HBM 客户开展产线工艺验证和应用开发。电子束关键尺寸量测设备已完成样机研发，正在进行客户样片的工艺验证和应用开发。X 光类设备目前高深宽比刻蚀结构量测设备已通过国内头部存储客户验证；硅通孔铜填充空隙量测设备已出货头部存储客户进行工艺验证和应用开发。公司开发的三大系列智能软件已全部应用在国内头部客户。

    　　明暗场纳米图形晶圆缺陷检测进展顺利，电子束/X 光开拓新市场公司暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备已通过多家国内头部逻辑及存储客户产线验证并实现批量销售，出货机台数量快速增长，明场设备目前小批量出货到多家国内头部客户产线上进行工艺开发与应用验证工作。2025 年，公司正式推出多款基于电子束及X 光检测技术的新产品，构建“光学+电子束+X 光”三大技术路线一站式解决方案，同时拥有良率管理、缺陷自动分类、光刻套刻分析三大软件产品，软硬件结合增强客户黏性。根据YOLE 数据，2025 年中国大陆半导体量检测设备市场规模达到44.5 亿美元，后续有望看到设备国产替代进程加速，中科飞测作为核心国产供应商有望持续受益。

    　　盈利预测与估值

    　　考虑收入确认节奏的波动，我们调整26-27 年收入预测（2.5%/2.1%）为30.8/44.7 亿元，对应调整公司26-27 年归母净利润预测（1.7%/-2.4%）为3.98/7.04 亿元。下游芯片制造商加速扩产拉动半导体设备高景气，近期板块估值整体上升，可比公司2026 年Wind 一致预期PS 均值为12.4 倍。考虑公司所处赛道国产化率低，同时公司切入电子束及X 光检测设备进一步扩展市场空间，看好公司成长性，给予公司2026 年24 倍PS，目标价210.96元（目标价前值：132.9 元，对应15.5 倍2026 年PS），维持“买入”。

    　　风险提示：全球半导体下行周期，半导体设备需求不及预期，行业竞争加剧。