事件描述

    　　近期公司发布2025 年年度报告及2026 年第一季度报告。

    　　2025 年公司实现营收20.53 亿元，同比增长48.75%；实现归母净利润0.59 亿元，同比增长608.91%；毛利率为49.93%，同比增长1.0pct。

    　　2026Q1 公司实现营收3.96 亿元，同比增长34.63%；实现归母净利润-0.68 亿元，同比减少354.28%；毛利率为47.77%，同比减少10.3pct。

    　　事件评论

    　　营收高速增长，研发持续大力投入。2025 年公司检测设备和量测设备分别实现营收13.64亿元和6.23 亿元，同比增速分别为38.52%和72.71%；毛利率分别为53.29%和41.91%，同比变化幅度分别为+0.77pct 和+4.38pct，公司整体毛利率的下滑主要是产品结构的影响。2025 年先进制程收入占比超过60%，在订单结构中先进制程占比超过了70%，未来先进制程的收入和订单贡献有望进一步增长。2025 年和2026Q1 公司研发费用分别为6.56 亿元和1.83 亿元，同比增速分别为31.8%和52.2%，保持了较高水平的研发投入。

    　　产品布局进一步完善，新产品进展顺利。公司暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备持续通过多家国内头部逻辑、存储客户验证并实现销售，成为2025 年以及2026Q1 收入的重要增长引擎，并且在2026Q1 新增订单中占比快速提升，其他系列产品订单占比有不同程度稀释。暗场设备已在多家国内头部逻辑、存储客户产线完成验证并实现批量销售；明场设备已在多家国内头部逻辑、存储客户产线验证较长时间，从客户端反馈的测试数据来看，设备性能与稳定性都有明显提升；同时，公司推出了晶圆平整度量测设备、电子束关键尺寸量测设备，以及基于X 光技术的高深宽比刻蚀结构量测设备、硅通孔铜填充空隙量测设备等4 款新产品。

    　　公司的成长一方面来源于国产替代的持续推进，另一方面来自于先进制程对于量检测设备需求的提升。由于美国对华半导体出口管制措施依旧严格，在国内晶圆厂扩产意愿提升的背景之下，核心设备的替代需求更加强烈。近年随着研发投入力度加大，公司新产品落地节奏加速，尤其是先进型号进展顺利，进一步促进了订单规模增长。随着规模化效应的显现，公司未来盈利能力有望持续提升，预计2026-2028 年归母净利润为2.6 亿元、6.9亿元、11.8 亿元，对应PE 分别为265x、100x、58x，维持“买入”评级。

    　　风险提示

    　　1、下游晶圆厂扩产节奏存在不确定性；

    　　2、研发节奏存在不确定性。