入选理由:公司旗下至微科技持续保持国内湿法清洗设备领域的领先地位。2025年内,湿法设备在28纳米节点全部工艺机台的开发均已完成,且全系列机台均已获得客户订单;在更先进制程节点,公司亦取得了部分高阶工艺设备订单,尤其在高温硫酸(SPM)、FINETCH、单片磷酸等此前由国际厂商垄断的机台领域,交付进度与验证进展处于国内领先水平。公司2022年推出的高温硫酸SPM设备,作为国产首台进入大规模量产线的12英寸硫酸清洗设备,截至2025年单机累计产量超过100万片次。此外,公司新开发的S300-D湿法设备平台专为先进制程需求设计,覆盖SPM、背面蚀刻、预清洗、斜边处理等关键工艺,其每小时处理晶圆数量(WPH)较上一代平台提升30%,在腔体结构优化与流场控制精度方面实现进一步提升。