光刻机概念股龙头股&光刻机板块成分股

2025年9月22日公司在互动平台披露：对于光刻机领域，公司参股公司广州市鸿利秉一光电科技有限公司生产的UV LED部分产品有应用于光刻机领域，产品占该公司营业收入比例较小。

2025年7月11日公司在互动平台披露：公司通过宁波燕创宸翊创业投资基金合伙企业（有限合伙）间接持有上海微电子装备（集团）股份有限公司的股份，但持股比例极低。

2025年7月18日公司在互动平台披露：公司子公司深圳洪瑞微电子科技有限公司致力于半导体、光学、新能源等领域的智能视觉检测设备与工艺设备的研发应用，目前在研新产品进展及接单均呈现良好势头，已取得液晶行业头部客户、信利光电、南钢集团等优质客户批量订单。近日，其子公司洪镭光学赢得半导体掩模版资深制造厂商青睐，获得高解析直写光刻机采购订单。

大功率激光器射频电子管方面，公司拥有在行业内处于领先地位的热解石墨栅沉积与激光精密加工技术、钍钨阴极动态碳化技术和栅极、阴极自动点焊技术以及各种材料的表面处理工艺技术，这些核心技术确保了公司在大功率电子管业务上的国内领先地位，技术指标和产品质量与国际先进企业相媲美，产品60%以上出口到欧洲作为激光加工设备的核心元器件。新开发的550kW和650kW大功率电子管顺利通过专家评审组定型鉴定，填补了国内技术空白。目前，大功率电子管已在可控核聚变、科研医疗、3D打印及新材料制备等离子体设备等领域获得新订单。产品主要用于激光加工设备、广播电视、医疗、可控核聚变、光刻机等半导体加工设备领域。未来，公司将聚焦可控核聚变、半导体及医疗健康领域，从器件向整机设备拓展；同时推进CTK系列及高端X射线管研发，深化医疗CT球管合作，加速高端医疗设备国产化进程。2025年7月17日公司在互动平台披露：公司大功率电子管产品在光刻机领域的应用，已通过客户验证并实现批量供货。

公司官网披露，2021年12月，海立集团与微电子装备集团双方领导就项目合作、产品配套等内容进行深入探讨。双方以封装光刻机得冷却系统配套为起点，进一步提升合作能级，逐步从零部件级供应合作提升为系统级供应合作。2024年9月21日公司异动公告披露：公司控股子公司上海海立特种制冷设备有限公司为一家致力于工业设备冷却系统的研发及生产企业，其收入主要来源于冶金行业高温空调等领域。海立特冷有销售光刻机用冷却系统，该业务规模较小，近三年年销售额占海立股份年营业收入的比例均低于0.003%。

在半导体制造设备领域，主要应用于晶体生长、滚圆、切片、清洗、研磨、抛光、退火、涂胶、光刻、显影、刻蚀、物理气相沉积（PVD）/化学气相沉积（CVD）、离子注入、划片、键合、分选、封装等芯片制作环节的温度控制。国产替代和市场份额提升是我国该领域企业的成长主线，公司凭借良好的行业口碑，依托多项自主知识产权，历年来已逐步拓展了北方华创、芯碁微装、上海微电子、晶盛机电、华海清科、中国电子科技集团公司第四十八研究所、北京中电科电子装备有限公司、北京特思迪等。公司凭借多年工业温控行业经验，产品种类覆盖半导体制造工艺流程中严苛的温控需求，包含氟化液为介质的制冷机组、控温±0.02℃的高精度制冷机组和耐温800℃高效换热器等先进的半导体行业用温控设备，助力国内半导体产业发展。

2023年9月20日公司在互动平台披露：公司的电子散热系统可用于光刻机，占比较低。

2023年9月13日公司在互动平台披露：公司布局的蓝光芯片可应用于激光直写光刻机领域。

2023年9月11日公司在互动平台披露：我公司是ASML的间接供应商，向直接客户少量供应应用于光刻机设备的精密金属结构件产品。

2023年3月16日公司在互动易平台披露：公司具备生产制造光刻机镜头的技术和能力，公司的光刻机镜头技术为自主研发。

2023年公司成功申请到深圳关区目前唯一具有海关分送集报功能的寄售维修资质仓库，将打造半导体设备厂商保税寄售维修供应链行业标准，积极推进新型开放式的产业生态，为深圳打造半导体设备厂商良性的售后服务生态圈。半导体及集成电路方面，公司积极把握战略产业发展机遇，深化重点龙头客户服务合作，为华南片区集成电路制造企业提供全天候快速响应的半导体保税寄售维修服务。公司持续扩大客户基础，加大供应链管理深度，基于客户和市场需要不断覆盖更加多元化精细化的供应链管理产品，打造半导体设备厂商保税寄售维修供应链行业标准，为深圳打造半导体设备厂商良性的售后服务生态圈。同时公司也凭借领先的供应链资源统筹配置与战略投资孵化能力，积极探索半导体产业链上下游业务延伸机会，发掘产业链中服务与贸易等环节的增量潜能。2023年10月16日公司在互动易平台披露：公司为光刻机龙头客户提供寄售维修保税仓库服务业务。

2022年9月，公司完成以17.95元/股向包括电科数字集团、三十二所、中电国睿、国元基金在内的12名柏飞电子股东定增130,166,450股，购买其合计持有的柏飞电子100%股权。柏飞电子专注于为高端专用电子装备提供高性能的国产化计算机平台、信息处理平台等整体解决方案和专业服务，客户主要为航空、航天、船舶、电子、电力、轨道交通等行业总体单位和企业。补偿义务方承诺本次交易实施完毕后，标的公司在盈利预测补偿期间的净利润分别为：2021年不低于13,757.84万元，2022年不低于16,330.95万元，2023年不低于19,747.01万元，2024年不低于23,703.70万元。2023年6月8日公司在互动平台披露：公司子公司柏飞电子在智能计算包括边缘计算、端计算领域有较强的技术实力，主要应用于雷达通讯、航空船舶、轨道交通、工业控制等高端电子装备领域和金融、交通等行业数字化。公司2022年第三季度业绩说明会及机构投资者交流情况披露，在先进制造领域，柏飞电子为轨道交通龙头企业提供信号控制产品，为半导体装备生产商提供光刻机的控制器。

公司控股的美国菲涅尔是一家多年从事微结构光学技术研发及相关设备制造和维护的企业，在微结构光学方面具有较强的研发实力，并在全息光学、菲涅尔猫眼、水晶微结构、浅纹微结构、铂金浮雕等方面研发成果突出，先后研发了多台技术先进、性能突出、与光学制版有关的光刻机，并在全球范围内对公司独家供应，公司在微结构光学铂金浮雕方面从技术、设备到产品生产整体处于行业领先水平。2022年内，公司拥有自主研发、与光学制版有关的光刻机共10台。

公司坚持“光学+”发展战略，积极拓展光学应用场景，在半导体及泛半导体制造领域，2024年实现销售收入5,108.65万元，较去年增长82.32%，其中主要产品包括用于高端显示面板及PCB精密微加工的各类远心场镜、用于接近式掩膜光刻的平行光源系统、可用于半导体检测的微分干涉（DIC）显微镜以及应用于半导体芯片制造、封装、研发环节的高精度光学元器件；用于航天材料研发场景的真空紫外及原位测量系统以及增材制造领域的金属3D打印（SLM）光路传输系统，均实现了从研发试验阶段走向商业化交付；公司自主研发的激光远程除异物系统相关产品在轨道与电力的应用场景交付超过百件。

公司自主研发的晶圆级光刻设备WLP2000，最小解析半径为2μm，目前已成功导入多家先进封装厂商生产线，完成多项工艺验证，逐步实现规模化量产，推动产业技术升级和良率提升。未来先进封装与直写光刻技术的深度融合将持续驱动半导体封装工艺升级，满足人工智能、高频通信、新能源汽车等新兴应用对高性能封装的多样化需求。

公司已完成光刻机照明系统高精度光学器件加工与检测工艺设计以及部分资源和能力建设，正在进行工艺可行性验证。

公司在激光光学元器件领域技术优势明显。为世界顶级企业提供光刻机用光场匀化器，公司的光场匀化器基于光场匀化核心技术，能够实现对激光光束的高度匀化，以满足光刻机等高端应用需求，产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中，并供应给世界顶级光学公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。此外，公司为相干公司、创鑫激光等行业知名企业提供单（非）球面柱面透镜（快轴准直镜）等光束准直转换系列产品。另，公司是荷兰ASML光学设备核心供应商A公司的重要供应商。

公司在半导体及泛半导体领域的产品包括集成电路设备的发热体和结构件材料、集成电路及显示用的钨钼溅射靶材、离子注入机用钨钼材料、蓝宝石长晶炉用的钨钼材料、电子封装热沉材料、因瓦合金材料及精密金刚石工具等。公司纳米晶带材、电子封装材料及软磁粉等产品可广泛应用于算力中心领域。2023年9月6日公司在互动平台披露，公司一种钨合金产品可用于某型号光刻机设备，该产品尚处于市场开拓阶段，对公司业务发展尚不构成实质性支撑。公司钨钼难熔相关材料一直为我国半导体领域提供国产配套。

为提升国家关键材料领域“自主可控”水平，实现半导体材料的“国产替代”，近年来，公司建成了具有国际水平的高端光刻胶生产线和测试实验平台，同时拥有紫外宽谱、g线（436nm）、i线（365nm）、KrF（248nm）、ArF（193nm）全系列光刻机测试实验平台。公司于2020年启动了集成电路制造用高端光刻胶研发项目，并于2020年下半年购买了ASML 1900Gi型光刻机及配套设备，于2021年下半年购入了尼康KrFS207光刻机及配套设备，已建成ArF、KrF光刻实验室。该研发项目系由公司牵头发起的超大规模集成电路用高端光刻胶技术攻关及产业化工程的攻关任务之一，旨在通过自主研发，打通ArF、KrF光刻胶用树脂的工艺合成路线，研发满足90-28nm芯片制程的ArF(193nm)光刻胶以及国内用量最大的KrF光刻胶，满足当前集成电路产业关键材料市场需求。目前ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中，部分样品已开展客户送样验证工作。

2021年6月22日公司互动易披露：光刻机的相关工艺需要在超高真空以及特殊气体的条件下完成，我司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中，公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。

公司作为集成电路制造用关键工艺材料研发型企业，致力于推动高端光刻胶产品国产化进程，依托自身的技术实力和持续的研发投入，经过8年的开发布局，已建成包括I线、KrF、ArF干法、ArF浸没式各类光刻胶在内的完整的研发合成、配制生产、质量管控、分析测试平台，能为国内芯片企业提供多品类光刻胶产品，部分品类已实现产业化，少数品类关键光学数据处行业领先水平，公司已成为国内光刻胶供应链中重要一环。2024年，公司KrF光刻胶已有多款产品实现批量化销售，光刻胶产品整体销售规模持续增加，同比增长超100%，其中，ArF浸没式光刻胶已取得销售订单，迈出了实现产业化的第一步，为国产高端光刻胶早日实现国产化提供了坚实的支撑。2021年3月，子公司芯刻微委托盛吉盛代理投标，成功中标，购得ASML XT 1900 Gi型二手光刻机一台，该设备可用于研发分辨率达28nm的高端光刻胶。

2025年11月，公司拟以不超过6,000万元交易总价款购买芯东来部分股权；以芯东来2025年5月融资投后估值5.00亿元为参考，并结合实际经营、资产、所在行业估值及未来发展、合作情况，经各方初步协商确定,本次交易芯东来估值预计不超过5.20亿元，交易初步方案为公司拟购买芯东来原股东海南依迈、智能传感产业基金、浔元投资、海创智能装备分别持有的芯东来4.11%、3.00%、2.80%、1.09%股权。若公司后续与上述潜在交易对手方达成相关协议并完成交割，公司预计将持有芯东来不超过11.00%股权，芯东来将成为公司参股子公司。芯东来成立于2023年，是一家具有成熟工艺制程光刻机自研和量产能力的企业，专注于光刻机整机领域，业务分为光刻机再造业务和自研光刻机业务。芯东来能够提供整套成熟工艺制程光刻机再造、新光刻机安装调试和优质零配件供应业务。

2023年4月11日公司在互动易平台披露：目前公司已经购买i线投影步进式曝光机（i-linestepper），用于i线光刻胶的研发与生产检测。容大感光经过持续的投入，已经建立了完备的光刻胶研发与应用测试平台，其中主要测试设备包括：光刻机、涂胶显影一体机、扫描电子显微镜、膜厚仪、台阶仪、液体颗粒仪、痕量金属杂质测试仪器、色谱仪、紫外-可见分光仪、水分仪、粘度计、固含测试仪器等。

2022年内，公司间接持股的粤芯半导体完成B轮战略融资，用于粤芯三期项目建设，目前粤芯已完成股份制改造。另，2019年5月公司在互动平台上表示，粤芯半导体采购的是荷兰ASML的光刻机，已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房，目前在做量产前的最后调试准备。光刻机等主设备的顺利进驻，为粤芯半导体量产计划提供了有力保障。2019年9月10日公司在互动平台披露：经了解，粤芯半导体联合中标工信部半导体、芯片、关键零部件等领域的产业技术基础公告服务平台建设项目，情况属实。此建设项目面向第三代半导体碳化硅芯片制造技术，开展“卡脖子”核心装备研制，重点解决高硬度材料的高平整度、低粗糙度高效加工技术等难题。粤芯半导体项目是国内第一座以虚拟IDM (irtuallDM)为营运策略的12英寸芯片厂，是广州第一条12英寸芯片生产线，已列为广东省、广州市重点建设项目。产品包括模拟芯片、图像传感器、电源管理芯片、功率分立器件等，满足物联网、汽车电子、工业控制、5G等应用的模拟芯片需求。

2023年9月21日公司在互动平台披露，目前，公司光刻机项目主要应用在分立器件领域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化，公司将根据市场需求及业务发展情况持续制定研发计划，并加大研发核心部件国产化。

公司持有荷兰Anteryon公司81.09%股权。Anteryon公司主要为半导体，手机，汽车，安防，工业自动化等市场领域，提供所需的光电传感系统集成解决方案，拥有30多年相关产品经验和完整的光电传感系统研发，设计和制造一条龙服务能力，其完整的晶圆级光学组件制造量产能力与经验系三维深度识别领域中微型光学系统和光学影像类集成电路模组所需的关键环节。2023年10月19日公司在互动平台披露：荷兰光刻机制造商ASML为Anteryon公司的最主要客户之一。

据爱企查披露，公司全资子公司张江浩成持有上海芯上微装科技股份有限公司14.19679%股权。芯上微装官网披露，其成立于2025年2月，是一家专注于高端半导体装备研发、生产和服务的创新型科技企业。公司致力于为“超越摩尔”赛道的芯片制造、芯片先进封装、三代半导体和新型显示等核心领域提供高精度、高性能、高可靠性的设备解决方案。2025年8月8日，芯上微装举办了第500台步进光刻机交付仪式。

2023年9月14日公司互动易披露：公司全资子公司日本英唐微拥有5台光刻机，主要用于其光电转换和图像处理的模拟IC和数字IC产品的研发生产。

公司旗下的精密清洗业务主要为医疗设备和高精密光学设备提供精密清洗系统。对于精密光学、医疗技术、精密机械、科学仪器以及机械电子等典型的清洁度要求最高的应用领域，公司在精密清洗业务板块的精密清洗系统可提供全套个性化的设备及解决方案，内容包括实验室测试、洗涤剂的选择、清洗/漂洗的阶段配置、以及超声波频率及功率的选择等，精密清洗技术全球领先，在欧洲占据该细分行业市场的主导地位。2021年9月3日公司在互动平台披露，公司的精密清洗设备面向的在芯片行业企业客户包括光刻机制造企业的合资（参股）公司，该等客户负责制造光刻机的核心光学系统。