特种气体概念股龙头股&特种气体板块成分股

公司特种气体业务主要经营模式为“现场制气”及“零售供气”，业务前端链接国产氦气资源、清洁能源氢气产业链、航空航天特气生产，业务后端匹配华中等区域零售气站、商业航天配套项目等，形成高效的“资源+终端”业务链条。公司与日本岩谷、美国空气化工等业内诸多知名跨国气体公司、化学品公司、大型国有上市公司建立了稳健的战略合作关系，为各品类气体业务提供保障，包括普通工业气体（氧/氮/氩/二氧化碳等）、特种气体（激光气等）、电子气体（超纯氦/超纯氢/超纯氪/超纯氯化氢/硅烷等）及化学品（六氟化硫/三氟化硼等）等多个品种。终端方面，公司特种气体产品主要面向直接终端用户，服务终端客户超800家，客户包括蓝思科技、TCL、中国电科、中车半导体、远大集团、国兴锂业、中国航天、航天科技、金宏曼德、上海光源、秦山核电站、星邦智能、北汽福田、恒生制药、九典制药、克明面业、旗滨玻璃、株硬集团、株冶集团、国防科大、湖南大学、中南大学、中科院高物所、上海交大、上海科大等知名企业及机构。

在电子特种气体方面，公司承担了多项国家科技部重点研发项目，目前已实现6N纯度高纯氯气、6N纯度高纯氯化氢、4N5纯度六氟丁二烯、5N纯度三氟甲烷、5N纯度八氟环丁烷、4N纯度八氟环戊烯和5N5纯度高纯六氟化钨量产，产品技术处于国内同类产品的领先水平，产品已在中芯国际、华润微电子、士兰微、厦门联芯、沪硅产业、河北普兴等多家客户通过认证并批量供货。公司高纯氯气、高纯氯化氢被浙江省经济和信息化厅认定达到“技术水平国内领先，打破国际垄断，实现重点领域降准替代且在知名用户应用”。

公司是一家国内领先的电子大宗气体综合服务商，是国务院“科改示范企业”及广州市国资委重点混合所有制改革项目企业。公司的主营业务是研发、生产和销售以电子大宗气体为核心的工业气体。公司打造了全方位、自主可控的气体供应体系，专业和能力涵盖从气体制备装置的设计到投产运行、气体储运、数字化运行、气体应用解决方案等全部环节，为客户提供现场制气、零售供气等综合服务。公司的产品涵盖电子大宗气体的全部六大品种以及主要的通用工业气体品种，具体包括氮气（N2）、氦气（He）、氧气（O2）、氢气（H2）、氩气（Ar）、二氧化碳（CO2）等气体品种，广泛应用于集成电路制造、半导体显示、光纤通信等电子半导体领域以及能源化工、有色金属、机械制造等通用工业领域，具有明确且可观的市场前景。

公司生产的高纯三氟化氮主要应用于大规模集成电路和显示面板等制造过程中的清洗、刻蚀工艺，已实现5N级三氟化氮的量产，同时已建成国内最大生产基地。公司生产的高纯六氟化钨主要应用于大规模集成电路化学气相沉积工艺，其沉积形成的钨导体膜可用作通孔和接触孔的互连线，已实现6N级六氟化钨的量产，同时拥有国内最大生产基地。公司生产的无机类气体主要包括氟化氢、氯化氢、四氟化硅、氘气等气体。其中， 氯化氢和氟化氢纯度分别可达5N5和5N，主要应用于大规模集成电路清洗、刻蚀工艺；四氟化硅纯度可达5N，主要应用于大规模集成电路制造中有机硅化合物的合成、离子注入工艺掺杂剂及化学气相沉积工艺；氘气纯度可达5N，氘同位素丰度2N8以上，主要用作集成电路热处理，以及在光纤制造领域抗老化退火处理，提高抗氢老化能力。公司混合气产品组分纯度可达6N， 目前已实现30余种电子混合气的量产供应。公司生产的碳氟类气体主要有六氟丁二烯、八氟环丁烷、八氟丙烷、六氟乙烷等气体。

公司是一家从事氢硅材料产品研发、生产、销售和技术服务的专业公司，也是一家致力于服务新能源、新材料相关领域研发与生产的专业企业，目前公司的主要产品为氢气（工业/高纯氢）与电子级硅烷气。公司氢气的产品种类包括工业氢（3N级）和高纯氢（5N级）。公司目前生产的产品主要为电子级硅烷气，是一种电子特种气体，属于国家大力支持发展的新材料。公司采用先进的生产工艺，生产出的产品可以稳定在6N级以上，最高可达到7N级，超出我国硅烷气质量标准（6N），达到国际先进技术水平。氢是主要的工业原料，也是最重要的工业气体和特种气体，在石油化工、电子工业、冶金工业、食品加工、浮法玻璃、精细有机合成、航空航天等方面有着广泛的应用。电子级硅烷气主要通过化学气相沉积的方法用于特殊层膜的生产，下游的行业包括半导体行业、显示面板行业、光伏行业、负极材料等，均为国家重点支持发展的行业。

公司聚焦分布式能源市场，深挖用户需求，提供工业气体领域系统解决方案。在空分市场基础上，不断巩固焦炉煤气综合利用及合成气市场，实现商业模式突破；布局氪氙精制业务，多元气体经营结构不断优化；围绕公司EISS4.0（含储能）能源互联岛系统解决方案，在液态空气储能（LAES）等新领域构建核心技术能力；建成西安智能化远程控制中心，企业资产管理系统（EAM）完成优化升级，大型关键机组在线监测与故障诊断平台（IMO）得到全面推广，形成智能化运营管理体系（EMAES），实现数字化转型目标。

作为中国精细化工百强企业，公司掌握多种超高纯电子特种气体制备技术，拥有完全自主知识产权，生产经验丰富，产品开发能力强，尤其在电子级氯化氢和氯气产品方面技术优势突出，产品质量优异且已导入主流下游客户，在建的1万吨/年电子特气项目计划于2024年上半年建成投产。未来公司将围绕超高纯电子特气和湿电子化学品，进一步扩充产能，丰富产品品类，持续提升在细分领域的竞争力。公司已建成国内领先的烷氧基化研发平台，在EOD催化剂、特种聚醚新产品开发等方面构建了差异化的研发优势。公司EOD装置采用国际领先的烷氧基化生产工艺，产品紧贴消费升级趋势，聚焦高端化学品市场，持续开发绿色低碳、高毛利的特种表面活性剂，已累计开发出EOD产品30多个系列，实现产业化产品100余个。2023年3月31日公司互动易披露：高纯电子特气是集成电路、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的关键基础性材料。公司“电子级高纯特气和锂电添加剂项目”计划于2023年四季度建成投产，产品主要包括电子级氯化氢、电子级氯气、电子级三氯氢硅、电子级四氯化硅等，主要应用于平板显示、半导体芯片、太阳能电池板、光纤光缆等领域。

随着下游新能源、半导体、电子信息、生物医药、新材料等新兴产业发展迅速，下游客户用气需求尤其是特种气体的需求不断增长，高纯空分气体及其他特气市场迎来广阔的市场发展空间。基于此，公司未来将不断丰富产品品类，逐步着手布局新材料产业、半导体产业等所需特种气体，如高纯液氧、高纯液氨、烷类气体、氟碳类气体、其他浓度为ppm（10-6）甚至ppb（10-9）级的电子混合气等。此外，在现有医用氧、食品氮以及军工所需高纯氩、高纯氮基础上，拓展生产经营医疗、食品、军工及航空航天领域的其他特种气体，不断挖掘新的利润增长点，提升公司的综合实力。同时，公司将适时投入氢气清洁能源的生产与服务，通过煤制氢，LNG制氢，化工尾气提氢，电解水制氢等方式生产高品质氢气产品，以满足国内氢气市场的需求。

公司全资子公司鄂尔多斯水发在2021年底通过技改技术上马提氦项目，采用了目前国内先进技术手段，对LNG生产过程中产生的BOG中的排空的废气进行回收，产出纯度大于99.999%的高纯氦气，增加工厂经济效益。2022年产氦气16万方。

公司目前电子化学品业务主要集中在昊华气体，昊华气体具有较高的行业地位，是国内主要的电子特气研究生产基地之一。公司拥有自主知识产权的电子特气制备和纯化全套技术，开发了一系列国产替代急需的电子特气产品，形成了国内领先的产业规模。昊华气体业务类型主要有电子特气（蚀刻清洗气、离子注入/掺杂气、化学气相沉积/原子层沉积气、高纯混配气等）、电子大宗气体（超纯氮/氧/氢/氩/氦等）、电子产业含氟精细化学品、工业气体及标准气、工程服务及供气技术、分析检验服务等。核心产品有三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、磷烷、砷烷、三氟化硼、绿色四氧化二氮、高纯硒化氢、高纯硫化氢、高纯氦气、VOCs标气、标准混合气体等，广泛应用于集成电路、显示面板、太阳能电池、光纤、电力设备制造、医疗健康、环保监测等领域。持续稳定供应国内外电子信息行业知名客户。目前，公司含氟电子气体现有产能位列国内前三，新建4600吨/年电子气体项目全部建成投产。

公司自主研发的氟碳类、光刻稀混气类、氢化物、氮氧化合物等系列产品主要应用在泛半导体制程工艺中的刻蚀、清洗、光刻、外延、沉积/成膜、离子注入等核心环节，对最终元器件的性能起到关键决定性作用。公司的拳头产品光刻气（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne）通过了荷兰ASML和日本GIGAPHOTON株式会社的认证，也是国内唯一一家通过两家认证的气体公司。2023年上半年，公司的准分子激光气体产品还通过Coherent（相干）德国公司ExciStar激光器的193nm测试，进一步提高公司在准分子激光气体领域内的认可度和知名度。公司累计实现了包括高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、光刻气、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯氨、高纯一氧化氮、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、锗烷、高纯乙烯、高纯甲烷、高纯六氟丁二烯等50余种产品的进口替代，数量在国内特气公司中居于领头位置。

电子特种气体是半导体制造的关键材料，公司致力于电子半导体领域的特种气体产业化，已逐步实现了超纯氨、高纯氧化亚氮、电子级正硅酸乙酯、高纯二氧化碳等一系列产品的进口替代。公司优势产品超纯氨、高纯氧化亚氮等产品已正式供应了中芯国际、海力士、联芯集成、积塔、华润微电子、华力集成等一批知名半导体客户。投产新品电子级正硅酸乙酯、高纯二氧化碳正在积极导入集成电路客户，均已实现部分客户小批量供应。在建新品全氟丁二烯、一氟甲烷、八氟环丁烷、二氯二氢硅、六氯乙硅烷、乙硅烷、三甲基硅胺等7款产品正在产业化过程中。

公司氢类电子特气主要包括磷烷、砷烷等，是集成电路和LED制备中的主要支撑材料。磷烷和砷烷为高纯特气家族中技术门槛和开发难度最高的两个品种，作为半导体、LED、光伏、航天和国防事业的关键原材料，长期被海外技术封锁。其中磷烷是半导体器件制造中的重要N型掺杂源，其可用于多晶硅化学气相沉淀、外延GaP材料、离子注入工艺、MOCVD工艺、磷硅玻璃钝化膜制备等工艺中。砷烷主要用于外延硅的N型掺杂、硅中的N型扩散、离子注入、生长砷化镓和磷砷化镓。公司2013年承担国家02专项“高纯特种电子气体研发与产业化项目”，经过3年高强度的技术开发，成功实现了高纯砷烷、磷烷等特种电子气体的产业化，打破了国外技术封锁和垄断，为我国极大规模集成电路制造、民族工业振兴提供了核心电子原材料。

公司投建的内蒙古雅海B0G提氨装置项目于2023年10月正式投产，项目建成实现了公司提氢技术成果商业化，抢占国产氨气市场先机，解决中国氨气“卡脖子”的重大战略问题。

电子特气是泛半导体企业加工制造过程中的关键材料，其质量直接影响下游客户的良率和性能，正帆科技已具备合成、提纯、混配、充装、分析与检测等核心能力。电子特气产品中的砷烷、磷烷属于公司自研自产产品，已成功实现了国产替代，是国内为数不多能稳定量产电子级砷烷、磷烷的企业之一。

公司的电子特气业务主要通过全资子公司科美特进行，主要包括含氟类特种气体的研发、生产、提纯与销售，主要产品为六氟化硫和四氟化碳。2023年上半年，公司下属子公司科美特继续为台积电、三星电子、Intel、中芯国际、海力士、京东方等业内头部企业稳定批量供应产品。随着国内一系列超大型特高压输变电项目的推进，科美特工业用六氟化硫产品销量得到进一步提升。2023年上半年内，公司电子特气业务经营情况顺利，业绩稳中有升。

公司以气体产业为核心，以装备和工程业务为支撑，培育特种气体、新能源、技术服务等新的业务增长点。公司生产和销售成套空气分离设备及部机、低温石化设备并提供EPC服务,生产和经营各类气体产品，并已拓展氢的制取、提纯、储运及加注、CCUS等新能源相关业务。公司生产的气体产品主要包括：氧、氮、氩、氖、氦、氪、氙、二氧化碳、氢气、医疗气、电子大宗气、电子特气、高纯气、混合气等。空气分离设备及各类气体产品广泛应用于能源、冶金、电子、化工、环保、航天航空、科学研究、医疗保健、食品等领域。

根据公司发展战略和产业布局，在巩固二氧化碳气体行业龙头地位的基础上，加速向全方位的电子特气领域延伸，形成行业内具有较大影响力的专业电子特气和混配气体研发及生产加工基地，聚焦电子特气的研发生产，顺应我国电子等新兴产业发展的历史机遇，不断填补高端电子特种气体领域的国内空白，打破国外垄断、逐步实现进口替代。

在新兴产业即电子特气及电子化学品、硅基功能性新材料业务领域，公司作为新进入者，尚处于导入阶段。公司将加快项目实施进度，依托宜昌、潜江两个电子特气及电子化学品产业园的产品投产，分销与直销并行，在集成电路、液晶面板、光伏、LED、第三代半导体行业全力拓展客户；与国内同行开展产品合作，提高产品销售种类，增加与客户的合作黏性；结合市场新需求，增加产品研发投入，以创新驱动市场，增加市场份额，形成在电子特气、电子化学品及新材料领域的核心竞争力。