赛微电子MEMS生物芯片通过验证

赛微电子MEMS生物芯片通过验证。 赛微电子（300456）+0.51%子公司赛莱克斯北京代工制造的某款MEMS（微机电系统）生物芯片通过了客户验证，该客户已同步签署试产订单，启动首批MEMS生物芯片8英寸晶圆的小批量试生产。MEMS制造工艺可以在微小的生物芯片中加工微纳米级别的泵、阀、管道、容器等，将生物传感器的复杂功能集成内置在芯片中。