来源 :深交所互动易2023-10-10
irm6846254问赛微电子(300456)公司提到公司有基于CMOS兼容的MEMS工艺，这个CMOS具体是什么？手机相机CMOS还是计算机芯片设计？请详细介绍具体是指哪个方便？
2023-09-12 08:46:06
赛微电子答irm6846254
您好，对于MEMS和CMOS，一般认为有如下区别：（1）MEMS工艺技术最早来源于CMOS工艺技术，是CMOS集成电路的一种扩展；（2）CMOS多注重二维（x-y平面）工艺分辨率，即细宽线距（如28nm、14nm、10nm、5nm、2nm……），称为“More-Moore”；MEMS的Fab则更注重三维（x-y-z）工艺与集成，属于“More-than-Moore”；（3）传统意义上，CMOS负责运算和存储，MEMS负责感知与执行；（4）MEMS芯片同样涉及物理、化学，同时还涉及生物、光学等不同学科知识和技术的交叉运用，需要使用相对复杂与更加多样化的材料、结构与集成工艺；（5）与CMOS产业相比，目前MEMS产业FAB的工艺制程往往是高度定制化的，与设计公司工程师的交互更为紧密，对客户的芯片设计及定版过程也介入更深。公司有基于CMOS兼容的MEMS工艺是指，公司在生产制造MEMS晶圆时，注重工艺的兼容性，可以响应客户兼容CMOS的工艺需求，实现不同器件的晶圆级堆叠制造，谢谢关注！
2023-10-10 22:23:27