来源 :搜狐网2024-12-17
晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆夹持装置”，专利申请号为CN202420043537.5，授权日为2024年12月17日。
专利摘要：本实用新型提供了一种晶圆夹持装置，包括连接梁；承接板，滑动设于所述连接梁上；夹持板，滑动设于所述连接梁上；以及连接机构，连接于所述承接板与所述夹持板之间；其中，所述晶圆的重力挤压所述承接板时，所述承接板滑动并通过所述连接机构拉动所述夹持板滑动，直至所述晶圆夹持在所述承接板及所述夹持板之间，且所述承接板复位时，所述连接机构推动所述夹持板向着背离所述晶圆的方向移动。通过本实用新型提供的一种晶圆夹持装置，通过承接板支撑晶圆的重力，并利用晶圆重力拉动夹持板进一步夹持晶圆。可大大降低夹持装置与晶圆表面之间的磨损，从而大大减少晶圆破片的问题。
今年以来晶合集成新获得专利授权263个，较去年同期增加了12.88%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.14亿元，同比增22.27%。