| 公告日期 | 报告期 | 业绩预告内容明细 | 上年同期每股收益(元) |
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| 2022-01-21 | 2021-12-31 | 预计2021年1-12月归属于上市公司股东的净利润为：10114.34万元至11873.36万元，与上年同期相比变动值为：3010.45万元至4769.46万元，较上年同期相比变动幅度：42.38%至67.14%。业绩变动原因说明公司2021年年度业绩较上年同期增长的主要原因系公司所处下游泛半导体、PCB等行业持续保持高景气度，客户技术迭代需求增加，公司产能增加，直写光刻设备、直接成像设备及自动线设备等销量增加；公司深耕市场，建立了较高的品牌知名度；公司加大研发投入，新产品不断投入市场，产品性能进一步提高，国产替代进程加快。 | 0.78 |
| 2021-03-15 | 2021-03-31 | 预计2021年1-3月归属于上市公司股东的净利润为：1200万元至1400万元，与上年同期相比变动幅度：430.69%至519.14%。 | 0.02 |