【高端微纳装备制造商】微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售，向下游客户提供先进薄膜设备、配套产品及服务。在半导体领域内，公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积（ALD）设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备厂商，已与国内多家厂商建立了深度合作关系，相关产品涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等诸多细分应用领域，多项设备关键指标达到国际先进水平。在光伏领域内，公司作为率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业，已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一，与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系。
更新时间：2024-02-06 08:48:03
【拟3000万-6000万元回购股份】2024年2月，公司实际控制人、董事长王磊先生基于对公司未来持续稳定发展的信心和对公司长期价值的认可，提议公司通过集中竞价交易方式进行股份回购。回购股份的用途：用于股权激励、员工持股计划、注销及其他为维护公司价值及股东权益，具体用途由公司董事会依据相关法律法规确定；本次回购资金总额不低于人民币3,000.00万元（含），不超过人民币6,000.00万元（含）；本次回购股份价格不高于公司董事会审议通过回购方案决议前30个交易日公司股票交易均价的150%；回购股份的期限：自公司董事会审议通过回购方案之日起12个月内。
更新时间：2024-02-06 08:48:00
【光伏领域】公司作为率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业，已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一，与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系。公司为客户提供具备优良的产品性能的设备，在保障光电转换效率的同时，可有效帮助电池片厂商大幅降低设备投资额与生产成本，在PERC、TOPCon、XBC、异质结/钙钛矿叠层电池等高效电池技术发展过程中起着重要作用。相关产品已在新型电池产线上得到下游客户广泛认可，拥有较高的市场占有率，客户群体已基本覆盖光伏领域内包括通威太阳能、隆基股份、晶澳太阳能、阿特斯、天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商。根据公开的市场数据统计，公司ALD产品已连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。
更新时间：2023-11-29 14:30:47
【半导体领域】公司已与国内多家头部半导体厂商建立了深度的合作关系，ALD产业化应用迅速发展的同时，公司藉由现有的薄膜沉积类产品研发、推广和产业化的经验，开发了以CVD为代表的多种真空薄膜技术产品，相关产品涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等细分应用领域，多项设备的镀膜质量、产能水平、稳定运行能力等关键指标均已达到了国际先进水平。公司已成功研制的High-k原子层沉积所应用的高介电常数（High-k）栅氧薄膜工艺是国内突破28nm制程中难度最大的工艺之一。公司是国内首家将其成功量产合并应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司，并已获得客户重复订单认可，填补了我国在该项半导体设备上的空白。除上述在半导体领域已实现产业化应用的功能外，公司2022年推出的应用于逻辑芯片、传统和新型存储芯片、CMOS芯片、MEMS等领域的多款ALD设备也取得了客户订单，部分设备获得多个重复订单。2023年，公司iTomicMW系列批量式原子层沉积镀膜系统实现首台产业化应用，该设备可一次处理25片12英寸晶圆，具备高产能及良好性能指标，进一步扩宽了公司工艺应用覆盖面。
更新时间：2023-11-29 14:30:35
【TOPCon电池】受益于TOPCon电池产能扩充和公司产品竞争优势，公司光伏设备订单量稳步增长，市场占有率不断提升，产品已广泛应用于国内TOPCon新建产线。公司应用于XBC电池生产线的产品已经验收，进入产业化应用阶段。凭借开发行业内首条GW级PE-PolyTOPCon电池工艺整线的技术优势，2023年公司推出了全新的TOPCon2.0整线工艺技术解决方案，TOPCon2.0管式PETox+PE-poly四合一的各项技术指标达到了行业先进水平，研究成果受到产业界和学术界的广泛关注。
更新时间：2023-11-29 14:28:55
【高端微纳装备制造商】公司是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售，向下游客户提供先进薄膜设备、配套产品及服务。在半导体领域内，公司已与国内多家厂商建立了深度的合作关系，深化推动ALD产业化应用领域和业务迅速发展，相关产品涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等诸多细分应用领域，多项设备的工艺质量、产能水平、稳定运行能力等关键指标均已达到了国际先进水平。同时，公司藉由现有的薄膜沉积类产品研发、推广和产业化的经验，开发了多种CVD真空薄膜技术产品。在光伏领域内，公司作为率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业，目前已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一，与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系。根据公开的市场数据统计，公司ALD产品已连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。公司已开发和正在开发的适用于半导体、光伏等应用领域的多款薄膜沉积设备，涵盖ALD、CVD系列产品，并提供配套产品及服务。
更新时间：2023-09-12 15:44:13
【取得钙钛矿异质结叠层电池订单】2023年2月，公司在接受机构调研时表示，公司积极响应下游厂商XBC电池结构的开发和优化需求，并根据下游厂商在HJT电池、钙钛矿叠层电池等其他新型高效电池的量产节奏完善相关的技术储备和产品。截止目前，公司已取得了XBC电池、钙钛矿异质结叠层电池订单。公司ALD设备可用于正面Al2O3钝化层的制备，PECVD设备可用于正反面的SiNX薄膜制备，PEALD/PECVD二合一设备可用于背面超薄隧穿氧化层（SiO2）和多晶硅层（Poly-Si）的制备，羲和系列设备可以完成扩散、退火等步骤。目前公司用于TOPCon电池的设备均已实现产业化应用，并已完成了GW级别产线的验证。
更新时间：2023-09-12 15:44:11
【签署3.86亿TOPCon电池设备销售合同】2023年6月，公司近日与滁州亿晶签署了TOPCon电池设备销售合同，合同金额总计约为人民币3.86亿元（含税）。合同标的：TOPCon电池设备，包括但不限于ALD设备、PEALD设备、PECVD设备、管式扩散氧化退火炉等。本次交易对手方是公司首次合作客户，合同的签订标志着公司客户拓展和TOPCon电池工艺整线技术的市场推广取得了积极成效，进一步夯实了公司新型高效电池工艺整线设备供应商的业务布局，提高公司可持续发展能力。
更新时间：2023-06-26 08:41:36
【新产品研发】公司紧跟行业技术发展趋势，响应客户需求，新产品的开发和迭代速度突破历史最佳水平。半导体领域，公司加速逻辑、存储芯片、化合物半导体、新型显示芯片等半导体各细分领域产品的产业化，针对各细分应用领域研发试制新型ALD设备，并进一步完善产品矩阵，开发CVD等产品，满足客户在各技术节点上对薄膜沉积设备的需求。在光伏领域内，公司持续丰富产品线，提供ALD、PECVD、PEALD、扩散等多种产品，推进实施AEP（ALDEnabledPhotovoltaics）技术为核心的TOPCon电池工艺整线策略，提高公司产品在客户产线投资中的占比，为客户提供更为完整、高效、经济的薄膜沉积解决方案。由公司开发的行业内首条GW级TOPCon工艺整线项目已经取得客户的验收，实现产业化应用。公司同时积极储备下一代高效电池相关产品和技术。
更新时间：2023-06-19 11:12:02
【其他领域应用】除了光伏和半导体领域外，公司还拓展了柔性电子等其他领域的应用。公司自主开发的FlexGuard（FG）系列卷对卷原子层沉积镀膜系统主要在OLED等先进显示技术的柔性电子材料上进行真空镀膜，目前已实现产业化应用。由于OLED器件被水和氧气渗透后极易发生老化变性，导致器件亮度和使用寿命出现明显衰减，因此需要使用阻水阻氧材料进行封装保护。公司的ALD设备能够在大幅宽的材料表面沉积高性能阻隔层，具备良好的阻水阻氧能力，能够有效保护OLED器件的性能和寿命。
更新时间：2022-12-23 09:15:50
【募资投向】公司募集资金扣除发行费用后，将投资于以下项目：基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目，项目总投资额26421.02万元，本项目拟基于公司现有ALD设备产线进行升级扩产，开发适用于光伏、柔性电子的ALD设备，新增年产120台ALD设备的生产能力；基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目，项目总投资额63310.80万元，本项目拟基于公司现有ALD设备产线进行升级扩产，开发适用于半导体的ALD设备，新增年产40套ALD设备；集成电路高端装备产业化应用中心项目，项目总投资额11811.74万元；补充流动资金，项目总投资额15000.00万元。
更新时间：2022-12-06 14:33:50
【客户情况】根据中国光伏行业协会统计，2021年我国产能排名前十的电池片企业总产能达到246.1GW，约占全国总产能的68.2%，总产量合计约为155GW，约占全国总产量的78.3%。经过了多年的发展，公司积累了丰富的光伏电池片薄膜沉积技术，公司与前十名电池片企业均建立了合作关系。太阳能电池片技术路线目前正由PERC工艺向新型高效电池（TOPCon、HJT等）发展，公司在行业中已率先取得无锡尚德、通威太阳能、晶科能源、商洛比亚迪等公司TOPCon产线设备订单。公司产品率先用于光伏电池片生产过程中的薄膜沉积环节，已覆盖包括通威太阳能、隆基股份、晶澳太阳能、阿特斯、天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商。
更新时间：2022-12-06 14:32:59