微导纳米(688147)资本运作项目投资

◆项目投资 （单位：万元）◆

截止日期	累计募集资金总额	募集实际投入额	本报告期已使用额	累计使用总额
2023-06-30	102347.14	39560.95	37763.84	39560.94

募集资金项目	拟投入金额	是否变更项目	实际投入金额	产生收益金额	是否符合计划进度和预计收益
补充流动资金	15000.00	否	13799.05	-	否
基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目	50000.00	否	12564.61	-	否
基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目	25000.00	否	12903.10	-	否
集成电路高端装备产业化应用中心项目	10000.00	否	294.19	-	否